0.2微米光学计示值误差检定方法及误差分析

摘要

《0.2μm光学计检定规程》所述示值误差检定方法为:用二等量块以“配对法”检定。在0～±20μm范围内,每间隔10μm检定一点,超过±20μm的范围,每间隔20μm检定一点。检定时以第一块量块对准零位,第二决量块检定受检点的示值误差,再以第二块量块对准零位,第三块量块检定受检点的示值误差,以此类推,直至所需配对量块的最后一块量块。检定正向刻度时,量块的尺寸按递增方式进行,检定负向刻度时。