使用莫尔条纹技术测量物体表面的轮廓及形变

摘要

@@ 激光,这种具有优良相干性的新光源的发明,使古老的光学焕发出青春活力,成为当代最活跃的研究科学之一.干涉度量学也获得新的发展,激光光源的引入不仅使经典干涉技术开拓了测试范围,提高了测量精度,而且由于激光技术带动了全息、散斑技术的进展,引入了一种新的获取相干光波的技术--二次曝光技术,研制出许多种不同经典干涉仪的新型干涉仪,拓宽了干涉度量学的概念.传统的经典干涉仪只能检测透明介质的性能和检测光学表面的缺陷等,全息、散斑干涉仪的功能扩展到检测任何实际粗糙表面的形变、位移、物体的轮廓等特性,而且莫尔干涉技术和光纤干涉仪在测试计量、传感器开发方面获得广泛用途.本文首先介绍二次曝光全息干涉原理,利用两次曝光之间形成的莫尔条纹对物体的表面轮廓及形变进行了测量,给出了对应的莫尔条纹方程式,并对这种技术的应用作了展望.