基于SPM的纳米计量中若干重要问题

摘要

扫描探针显微镜(SPM)由于具有纳米甚至原子量级的分辨率，20多年来已引起各个领域科学家们的广泛兴趣。在精密工程领域，它作为一种极具前途的纳米计量工具，已在许多国家受到了广泛的重视，如美国NIST，德国PTB和英国NPL等都相继开展了基于SPM的纳米计量技术研究。但作为纳米级的计量分析仪器，不仅要有高分辨率，更要有纳米级甚至更高的精度。