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基于SPM的纳米计量技术

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SPM仪器发明20年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的作用,SPM同时也是极有潜力的纳米计量仪器.文章对扫描探针显微镜在纳米计量中应用的一些关键问题,如误差来源,漂移补偿和纳米定位等进行了讨论.

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来源
《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|470-472|共3页
会议地点重庆
作者
黄文浩; 陈宇航;
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作者单位

国家自然科学基金委员会;

科技部;

解放军总装备部;

清华大学;

重庆大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类长度计量;电子光学仪器;
关键词
纳米计量; 节扫描探针显微镜; 纳米定位; 漂移补偿; 表面粗糙度测量;

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