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基于SPM的纳米加工技术研究

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摘要

扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.论文主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展动向.

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来源
《机电产品开发与创新》 |2014年第1期|102-104|共3页
作者
郭俊杰; 冯宪琴; 郭志伟;
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作者单位

张家口职业技术学院,河北张家口 075000;

张家口职业技术学院,河北张家口 075000;

山东省青岛天时海洋石油装备有限公司工艺设备部,山东青岛266108;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机床加工生产自动化;
关键词
扫描探针显微镜; 纳米加工; 阳极氧化法; 机械刻蚀;

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