酚醛树脂对光刻胶性能的影响

摘要

通过对光刻胶在显影过程中的理论分析，重点论述了酚醛树脂的分子量及其分布，序列结构，甲酚异构体的比例对光光刻胶性能的影响，得出的结果可在设计酚醛树脂时作参考。