栅极孔刻蚀对埋栅型静电感应器件特性的影响

摘要

栅极孔刻蚀是要刻断栅极和源极（或阴极）之间在外延过程中形成的连体，打开栅电极区。刻蚀不足或过蚀程度太深都可能造成栅电极电压不能有效施加到栅体上，限制栅体的控制能力，影响器件的I—V特性和击穿电压VGS的大小，是影响器件成品率的一个重要因素。本文结合工艺实践，就栅极孔刻蚀对器件特性的影响进行分析。