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半导体器件失效分析的重要性及关键问题研究

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本文对半导体器件失效分析的重要性及析的关键问题包括失效信息及失效数据的收集、失效预警及启动分析机、信息反馈机制、专业技术及人员、善于总结,实现点到面的技术提升等方面.

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来源
《科技创新导报》 |2009年第10期|4|共1页
作者
杨绸绸;
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作者单位

燕山大学信息科学与工程学院,河北,秦皇岛,066004;

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正文语种 chi
中图分类结构、器件;
关键词
半导体器件; 失效分析;

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