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光纤表面薄膜厚度的测量

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摘要

表面镀膜的长周期光纤光栅传感器的灵敏度与膜层厚度有很大关系,膜层厚度的控制与测量成为制作高灵敏度镀膜长周期光纤光栅传感器的关键一环,本文讨论了几种镀膜方式及相应的薄膜厚度测量方法.

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来源
《科技资讯》|2008年第36期|7-7|共1页
作者
蒋秀丽;
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作者单位

上海电力学院数理系,上海,201300;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.14;
关键词
镀膜长周期光纤光栅; 传感器; 薄膜厚度;

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