基于光纤衰荡腔测量纳米级薄膜厚度的方法

摘要

本发明公开了一种基于光纤衰荡腔测量纳米级薄膜厚度的方法，随着薄膜厚度变化，通过lens反射回光纤衰荡腔内的损耗随之变化，导致脉冲信号的衰减时间发生改变，根据多组已知厚度的标准薄膜样品通过检测得到对应标准薄膜样品的衰荡时间，建立薄膜厚度与衰荡时间的线性关系曲线或线性关系方程式，然后根据测得的待测薄膜样品的衰荡时间并结合薄膜厚度与衰荡时间的线性关系曲线或线性关系方程式得到待测薄膜样品的厚度。本发明的测量系统结构紧凑，测量过程简单，方便快捷，并且测量灵敏度较高；采用低增益和低噪音掺铒光纤来减少波形失真并补偿腔内噪音衰减；利用掺铒光纤放大器来补偿腔内损耗增加脉冲峰数以提高纳米级薄膜厚度的测量精度。