用X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO2薄膜的组分和厚度

摘要

在X射线荧光(XRF)分析中应用基于基本参数法的FP-Multi软件,采用C固定道和Ti、Al、Si扫描道,以99.999%石墨及纯Al、Ti、SiO2四个块样做标样,对玻璃基材上含有C元素的TiO2薄膜厚度及成分进行了测试分析.薄膜厚度的测定结果还与用nkd干涉仪、扫描电镜断面分析等方法的测试结果做对比.证明X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C+TiO2薄膜厚度及成分是可行的.