屏蔽装置在表面电阻测试仪校准工作中的效果浅析

摘要

文中主要阐述在屏蔽条件下与非屏蔽条件下,分别测量表面电阻测试仪的示值误差,通过数据之间比较分析,得到屏蔽装置在表面电阻测试仪的校准工作中的效果。