多晶硅气相沉积反应器的研发与应用

摘要

基于多晶硅的化学气相沉积技术与工艺,运用计算流体力学(CFD)的气体运动的组分运输和表面反应动力学模型,采用Ansys-Fluent对多晶硅的生长过程进行模拟计算,运用有限元应力分析(FEA)方法,对复杂设备结构进行热应力计算和强度安全性校核,研发并设计一系列大型高产能、低能耗的多晶硅反应器.该系列的反应器广泛应用于国内外多晶硅生产线,产能达500 t/a,能耗低至45 kW/kg.