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多晶硅化学气相沉积过程的数值研究

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多晶硅制备体系中的热力特性及各气体物质浓度分布变化的研究十分重要,只有充分了解反应物和生成物的组分及每步反应的最佳条件,才能正确设计工厂的工艺流程及装备,最终实现系统的高效节能.本文利用FLUENT软件与CHEMKIN软件跨接耦合开展多晶硅化学气相沉积过程的数值研究,建立了二维反应器数理模型,描绘出反应器中流场、温度场及各组分摩尔分数的分布变化,揭示硅制备化学体系的热力特性.

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来源
《中国工程热物理学会2014年年会》|2014年|1|共1页
会议地点西安
作者
刘鑫; 安莉莎; 刘迎文;
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作者单位

中国工程热物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
多晶硅; 化学气相沉积过程; 数值模拟; 热力特性;
入库时间 2022-08-17 10:29:52

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