平膜片式压力传感器的非线性及其改善方法

摘要

分析了导致平膜片式压力传感器非线性的三个因素:弯曲应变、薄膜应变以及电桥输出非线性,导出了该传感器的输出特征函数,进而通过非线性工作区的分析得出传感器非线性最小的设计方法。