平膜片小量程压力传感器非线性与输出灵敏度关系探讨

摘要

本文介绍了平膜片压力传感器的两项主要技术参数——非线性、输出灵敏度与膜片材料、尺寸及应变计等诸多因素相关性。详细推导了它们的计算公式,从实用角度出发重点分析讨论了平膜片实际位移特性与传感器输出信号非线性的关系,并举例说明本文所研究的内容在设计平膜片小量程压力传感器中的应用。