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Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix
Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix
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1.
INERTIAL SENSORS: THE DRIVE FOR ASPECT RATIO
机译:
惯性传感器:纵横比的驱动力
作者:
Paul L. Bergstrom
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
2.
Correlation of Metal Film Grain Size to Optical Measurement Results
机译:
金属膜粒径与光学测量结果的相关性
作者:
Tod Robinson
;
Chandrika Narayan
;
John Sledziewski
;
Glenn Ready
;
Susan Alie
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
3.
CHALLENGES AND SOLUTIONS FOR PACKAGING MEMS AND MICROSYSTEMS
机译:
包装MEMS和微系统的挑战和解决方案
作者:
Jordan Neysmith
;
Daniel F. Baldwin
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
4.
ULTRA-SENSITIVE RESONANT FREQUENCY BASED MASS DETECTOR
机译:
基于超灵敏谐振频率的质量检测器
作者:
B. Ilic
;
D. Czaplewski
;
H. G. Craighead
;
P. Neuzil
;
C. Campagnolo
;
C. Batt
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
5.
Selective Deposition of Octasubstituted Phthalocyanine Materials Based on Hydrophobic/Hydrophilic Surface Interactions
机译:
基于疏水/亲水表面相互作用的八取代酞菁材料的选择性沉积
作者:
Rebecca A. P. Zangmeister
;
Neal R. Armstrong
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
6.
FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF PLASTIC MICROFLUID DEVICES MODIFIED WITH POLYELECTROLYTE MULTILAYERS
机译:
高分子电解质多层改性塑料微流体装置的制备与表征
作者:
Laurie E. Locascio
;
Susan L.R. Barker
;
David Ross
;
Jay Xu
;
Sonya Roberson
;
Michael Tarlov
;
Michael Gaitan
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
7.
Lateral etch study of thin films using hydrofluoric acid chemistries for MEMS devices
机译:
使用氢氟酸化学方法对MEMS器件进行薄膜的横向蚀刻研究
作者:
George Matamis
;
Chuan-Che Wang
;
Bishnu Gogoi
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
8.
Low Surface Tension Etching Solutions for Silicon Dioxide Removal in Microelectromechanical Systems
机译:
用于微机电系统中的二氧化硅去除的低表面张力蚀刻解决方案
作者:
Michael J. Parent
;
Larry Zazzera
;
Paul Rajtar
;
Fred E. Behr
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
9.
MICROSTRUCTURES for MONITORING WAFER UNIFORMITY OF REACTIVE ION ETCHING
机译:
用于监测反应离子刻蚀晶圆均匀性的微观结构
作者:
R. Leung
;
D. W. Howard
;
S. D. Collins
;
R. L. Smith
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
10.
MICRO SCALE PURIFICATION SYSTEMS FOR BIOLOGICAL SAMPLE PREPARATION
机译:
用于生物样品制备的微级纯化系统
作者:
A. Bruno Frazier
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
11.
Residual Stress Effect and Improvement Method on the Performance of Diaphragm-Based Piezoelectric Microphones
机译:
残余应力对膜片式压电麦克风性能的影响及改善方法
作者:
Mengnian Niu
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
12.
A MEMS BASED HYBRID PRECONCENTRATOR/CHEMIRESISTOR CHEMICAL SENSOR
机译:
基于MEMS的混合预浓缩器/化学电阻器化学传感器
作者:
R. C. Hughes
;
S. V. Patel
;
R. P. Manginell
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
13.
ROOM TEMPERATURE, ADHESIVE BONDING for WAFER SCALE PACKAGING of FLUIDIC MICROSYSTEMS
机译:
室温,粘合剂粘结,用于流体微系统的晶片级包装
作者:
Xiaosong Ma
;
Brian Gierhart
;
Scott D. Collins
;
Rosemary L. Smith
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
14.
BULK-ETCHED INTEGRATED MESOSCOPIC FLUIDIC INTERCONNECTS FOR FLUIDIC MICRODEVICES
机译:
批量微流体集成的介观流体互连
作者:
Jennifer A. Scalf
;
Dorian Liepmann
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《》
|
2000年
15.
DEVELOPING Aμ-FABRICATION COURSE: A STUDY IN MULTIDISCIPLINARY MEMS CURRICULUM DEVELOPMENT
机译:
发展Aμ制造课程:多学科MEMS课程开发研究
作者:
R. S. Evans
;
P. J. Hesketh
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
16.
DESIGN OF A MEMS MAGNETIC BISTABLE VALVE
机译:
MEMS磁双稳态阀的设计
作者:
D. S. Creyts IV
;
P. J. Hesketh
;
G. C. Frye-Mason
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
17.
CHEMICAL MICROSENSORS FOR AEROSPACE APPLICATIONS
机译:
航空航天用化学显微镜
作者:
G. W. Hunter
;
P. G. Neudeck
;
G. Fralick
;
C. C. Liu
;
Q. H. Wu
;
M. S. Sawayda
;
Z. Jin
;
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;
D. Makel
;
W. A. Rauch
;
M. Liu
;
G. Hall
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
18.
ELECTROPLATED NANOCRYSTALLINE NICKEL-IRON ALLOYS AS A NEW POWERFUL MATERIAL FOR MICROSTRUCTURED MOLDING TOOLS
机译:
电镀纳米镍铁合金作为微结构模具的新型强大材料
作者:
A. Fath
;
W. Leskopf
;
K. Bade
;
W. Bacher
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
19.
ELECTRO-MAGNETICALLY ACTUATED DIVERTING VALVE USING LTCC
机译:
使用LTCC的电磁致动换向阀
作者:
TAPES Jason R. Gillman
;
Patricio Espinoza-Vallejos
;
Luis Sola-Laguna
;
J.J. Santiago- Aviles
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
20.
WATER DISPERSIBLE SILANES FOR WETTABILITY MODIFICATION OF POLYSILICON
机译:
水分散性硅粉,用于多晶硅的润湿性改性
作者:
A. Marcia Almanza-Workman
;
Srini Raghavan
;
Pierre Deymier
;
David J. Monk
;
Ray Roop
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
21.
THE MICROFACTORY SYSTEM USING ELECTROCHEMICAL MACHINING
机译:
使用电化学加工的微细加工系统
作者:
Masayuki Suda
;
Kazuyoshi Furuta
;
Toshihiko Sakuhara
;
Tatsuaki Ataka
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
22.
A Post-Processing Method for Suppressing the Residual Mechanical Stress in CMOS Layers, for MEMS Applications
机译:
MEMS应用中用于抑制CMOS层中残余机械应力的后处理方法
作者:
Bahram Ghodsian
;
V. Milanovic
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
23.
SOLUBLE SENSORS OF TELEPHONIC SIGNALS
机译:
电话信号的可溶性传感器
作者:
Merrill Garnett
;
John L. Remo
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
24.
HYBRID MICROMACHINING AND SURFACE MICROSTRUCTURING OF ALUMINA CERAMIC
机译:
氧化铝陶瓷的混合微细化和表面微结构
作者:
Peter Mardilovich
;
Dmitri Routkevitch
;
Alexander Govyadinov
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
25.
Detection of Trace Silver and Copper at an Array of Boron-Doped Diamond Microdisk Electrodes
机译:
硼掺杂金刚石微盘电极阵列中痕量银和铜的检测
作者:
C. Madore
;
A. Duret
;
W. Haenni
;
A. Perret
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
26.
NANOMECHANICAL DETECTION OF BIOMOLECULAR INTERACTIONS
机译:
生物分子相互作用的纳米力学检测
作者:
Karolyn M. Hansen
;
Guanghua Wu
;
Hai-Feng Ji
;
Thomas Thundat
;
Ram Datar
;
Richard Cote
;
Arunava Majumdar
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
27.
FET BASED pH AND NITRATE CHECKERS FOR ACID-RAIN MONITORING
机译:
基于FET的pH和硝酸盐检测仪,用于酸雨监测
作者:
S. Wakida
;
M. Yamane
;
S. Takeda
;
Z. Siroma
;
Y. Tsujimura
;
J. Liu
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
28.
MICRO-HOTPLATE, AN USEFUL CONCEPT FOR GAS SENSING, FLUIDICS AND SPACE APPLICATIONS
机译:
微滴,一种适用于气体传感,流体和空间应用的概念
作者:
D. Briand
;
O. Guenat
;
B. van der School
;
T. Hirata
;
N. F. de Rooij
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
29.
MICROFABRICATED PMMA STRUCTURE FOR DNA PRECONCENTRATION AND ELECTROPHORESIS
机译:
用于DNA预浓缩和电泳的超细PMMA结构
作者:
Yu-Cheng Lin
;
Chien-Kai Tseng
;
Shao-Qin Hou
会议名称:
《Symposium on Microfabricated Systems and MEMS 5, Oct, 2000, Phoenix》
|
2000年
关键词:
DNA;
preconcentration chip;
MEMS;
PMMA;
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