简单低成本制造高性能挠性晶体管

摘要

威斯康星大学麦迪逊分校的工程师们开发了一种简易、便宜地在挠性塑料上成卷制造高性能晶体管的方法。此方法是在聚酯膜上覆有单晶硅和掺杂剂合成材料，用纳米压印工艺形成晶体管电路图形。可重复使用的纳米压印模具是用一种称为电子束光刻技术，在光致抗蚀剂形成一个纳米级图案，线路细致10纳米宽度。