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朱兴营; 陈海群; 曾徽; 董永晖; 周法; 刘金涛;
中国航天空气动力技术研究院电弧等离子体应用装备北京市重点实验室,北京100074;
感应耦合等离子加热器; 数值模拟; 能量转化; 温度; 速度;
机译:Ar / O_2铁氧体磁芯感应耦合等离子体对光刻胶和低k电介质的刻蚀特性
机译:在Ar和Ar / CF _4 / O _2中维持的双频脉冲电容耦合等离子体的电子能量分布和等离子体特性的控制
机译:Cl_2 / Ar和CF_4 / Ar感应耦合等离子体中Mo薄膜的刻蚀特性及机理
机译:使用BCl / sub 3 // Cl / sub 2 // Ar感应耦合等离子体的Ta蚀刻特性
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:感应耦合等离子体沉积在室内照明中实现高转化效率的低温生长氢化非晶碳化硅太阳能电池
机译:控制电子能量分布和等离子体特性的双频,脉冲电容耦合等离子体持续,AR和AR / CF4 / O2
机译:ar,CHF3 / ar和CHF3 / ar / O2混合物中电感耦合等离子体中的质谱和Langmuir探针测量
机译:具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备
机译:具有感应耦合等离子体发生器和设备的等离子体源组件和分析仪,以及执行感应耦合等离子体方法,对准方法和介质的程序
机译:大面积感应耦合等离子体源,适用于电感耦合等离子体室的射频能量耦合应用
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