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机译:N_2 / O_2铁氧体磁芯电感耦合等离子体对低k电介质灰化的研究
机译:N2 sub> / Ar电感耦合等离子体的应用→低k电介质的光刻胶灰化
机译:CH_2F_2 / O_2 / Ar电感耦合等离子体中纳米器件的SiN_x薄膜的腐蚀特性及机理:O_2混合比的影响
机译:电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统中基于SF_6 / C_4F_8 / Ar / O_2的化学物质对石英的高速各向异性刻蚀
机译:合理设计超低k介电材料的无损电容耦合等离子体蚀刻和光刻胶剥离工艺。
机译:硅晶片蚀刻速率特性具有突发宽度使用150 kHz带高功率突发电感耦合等离子体
机译:高kk电介质HfO(2)薄膜在电感耦合碳氟化合物等离子体中的蚀刻特性
机译:在BCl3 / ar和Cl2 / ar中的III-V锑化物的电感耦合等离子体蚀刻;真空科学与技术杂志