气相色谱法分析超高纯六氟化钨中杂质气体

摘要

采用气相色谱-放电离子化检测器分析超高纯六氟化钨中微量杂质气体的含量。自行设计了一套反吹双通路分析系统,当六氟化钨中的气相杂质进入检测器后,将六氟化钨及时反吹出去,避免六氟化钨对仪器的腐蚀。通过正交试验确定了气相色谱仪的最佳工作参数,确定了采用不同的色谱柱进行分析时,仪器的最佳反吹时间。据此提出了气相色谱法分析六氟化钨中的四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳等痕量杂质气体。