六氟化钨高纯电子气体专利分析

摘要

六氟化钨是自然界中最活泼元素氟的一种无机化合物,在室温下是无色气体或浅黄色液体,固体为易潮解的白色结晶.可用于电子工业,也可通过CVD技术用于使钨在钢表面上形成坚硬的碳化钨,并广泛用于氟化剂、聚合催化剂.