电子气体
电子气体的相关文献在1983年到2022年内共计223篇,主要集中在化学工业、工业经济、无线电电子学、电信技术
等领域,其中期刊论文91篇、会议论文29篇、专利文献803357篇;相关期刊39种,包括低温与特气、深冷技术、中国集成电路等;
相关会议19种,包括2015年大型空分设备及低温石化技术交流会暨机械工业气体分离设备科技信息网第二十一次全网大会、中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛、全国特种气体第十七次年会等;电子气体的相关文献由320位作者贡献,包括孙福楠、夏磊、梁国仑等。
电子气体—发文量
专利文献>
论文:803357篇
占比:99.99%
总计:803477篇
电子气体
-研究学者
- 孙福楠
- 夏磊
- 梁国仑
- 吴江红
- 汪海燕
- 潘佳伟
- 丁高松
- 刘乐通
- 刘文丽
- 叶向荣
- 姬文博
- 李建浩
- 李杰
- 李飞娥
- 王俊果
- 郭帅杰
- 陈晓惠
- 韩列光
- 冯庆祥
- 张金柯
- 李军
- 李朝清
- 林刚
- 沈佳跃
- 王少波
- 王祥科
- 王秋娥
- 白占旗
- 鄢芝勇
- 陈刚
- 何双材
- 保罗·卫-曼·西乌
- 刘武灿
- 周黎旸
- 孟祥军
- 庄鸿涛
- 方华
- 牛学坤
- 王龙
- 米切尔·休·韦斯顿
- 缪光武
- 胡欣
- 董夏梦
- 蔡体杰
- 于大秋
- 付梦月
- 余京松
- 侯玲玲
- 刘振宇
- 夏添
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马路遥;
马若梦;
徐鸿;
冯晓娟;
张金涛;
林鸿
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摘要:
随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高。半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性。光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数。为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在7171.10491 cm^(-1)和7177.6565 cm^(-1)的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8%,与HITRAN、HITEMP和GEISA数据库比较,相对偏差小于6%。
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陈启德
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摘要:
林德(上海)电子气体有限公司作为专业的气体产品生产和供应商,一直以来为上海及长三角地区多个电子制造企业和医疗单位提供一系列电子气体和医用氧气。在3月以来上海新冠肺炎疫情期间,林德在中国的上百个生产现场扛起供气重任,始终保持满负荷运行,坚持保供不破防,为各行业复工复产保驾护航。履行电子气保供承诺林德在康桥华力生产现场专门派驻由专业工程师。
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张金彪;
翟晓颖;
袁胜芳;
铁宁
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摘要:
电子级氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)和氟化氢(HF)等高纯气体是半导体领域不可或缺的原材料之一,作为芯片先进支撑的一类核心气体主要用于芯片制造中的硅片蚀刻等工艺.随着电子行业的飞速发展,对电子气体的纯度要求越来越高.HCl、HBr和HF电子气体具有腐蚀性和强烈的亲水性,且遇水后腐蚀性增强,损耗设备,影响气体纯度,因此对其纯化过程中水分杂质的去除提出了严苛的要求.介绍了近年来腐蚀性电子气体HCl、HBr和HF中痕量水分的去除工艺;展望了 HCl、HBr和HF电子气体的发展前景.
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赵鹏德;
常琳;
李子宽;
范正林
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摘要:
三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯。
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摘要:
申请(专利)号:202010028865.4公开(公告)日:2020-05-08申请(专利权)人:浙江博瑞电子科技有限公司摘要::本发明涉及高纯气体提纯领域,具体关于一种HCl电子气体的反应性超声精馏提纯方法;本发明的一种HCl电子气体的反应性超声精馏提纯方法,本发明在含微量水的液化HCl中分别加入少量氯化亚砜,通过精馏去除、或氯化亚砜与水分反应生成的CO2或SO2,达到HCl脱水提纯的目的;另外,将液化或液化HCl置于超声场中进行精馏提纯,能够为促进氯化亚砜与液化或液化HCl中微量水分的反应,加速CO2或SO2从液化或液化HCl中的逸出,有效降低CO2或SO2在液化或液化HCl中的残留;本发明属于水分反应性转化与超声除气耦合方法,具有纯度高,水分含量极低的优点。
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摘要:
3月13日晚间,昊华科技(600378)发布公告,为发展电子化学品产业,公司全资子公司黎明化工研究设计院有限责任公司(以下简称“黎明院”)拟投资9.14亿元建设4600 t/a特种含氟电子气体项目。昊华科技指出,电子气体在半导体领域具有广泛的应用,是半导体生产过程中的重要原料之一。
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摘要:
一种超高纯气体的钢瓶处理系统,包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置;置换气源的输出端连通至减压器的输入端;减压器的输出端连通管至吸附器的输入端,减压器的输出端还连通至分析装置的输入端;吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端;钢瓶组包括多个钢瓶和总管,多个钢瓶连通至总管,多个钢瓶放置于加热烘箱内;过滤器组的输出端连通至总管的输入端,总管的输出端连通至真空泵的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法,使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。
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缪光武;
张金柯;
白占旗;
何双材;
胡欣;
曾群;
杜肖宾;
刘武灿;
张波
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摘要:
随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻.总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点.在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷.此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展.
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金小贤;
夏致远;
金向华
- 《全国特种气体第二十次年会》
| 2016年
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摘要:
碳酰氟是一种应用于半导体设备刻蚀和清洗的新型材料,在有机合成及氟化物的干燥、纯化领域也有重要应用.目前国内外关于碳酰氟的制备报道有很多,根据原料种类大体可分为四类,其中CO作为原料制备碳酰氟是应用最多的方法.作为应用于半导体行业的电子气体,对于纯度有一定的要求,因此碳酰氟的纯化也是制约其工业化应用的重要因素.
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