高纯氟化氢中微量杂质气体测定

摘要

采用气相色谱分析系统,建立了一种精准测定高纯氟化氢(HF)中微量杂质气体的方法.以高纯氦为载气,高纯HF经专用除水装置除水、预分离柱分离、反吹处理,气体杂质通过分子筛柱和Hayesep柱分离后进入氦放电离子化检测器(DID),用外标法定量分析微量杂质组分H2、O2+ Ar、N2、CH4、CO和CO2,体积分数检出限可达10-8,相对标准偏差(RSD)＜5％.该方法准确、可靠、精密度好,能够精准检测HF气体中的微量气体杂质.