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六氟化硫气体中微量杂质分析的研究

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用两种气相色谱法测定了六氟化硫气体中微量杂质:Air、CF4、C3F8、SO2F2、SOF2、S2F10O,比较了热导-火焰光度串联法与氦离子色谱法的分析结果,相对误差小于3.0%,并对分析结果中的问题进行了讨论.

著录项

来源
《低温与特气》 |2010年第2期|26-29|共4页
作者
邱惠珍; 周卉; 孙叶青; 薛伟明; 杨遂平;
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作者单位

上海基量标准气体有限公司,上海,宜山路,770号,109室,200233;

上海基量标准气体有限公司,上海,宜山路,770号,109室,200233;

上海基量标准气体有限公司,上海,宜山路,770号,109室,200233;

上海基量标准气体有限公司,上海,宜山路,770号,109室,200233;

上海基量标准气体有限公司,上海,宜山路,770号,109室,200233;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类工业气体分析;
关键词
六氟化硫分析; 色谱法; 低硫氟化物; SO2F2; SOF2; S2F10O;

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