电子背散射衍射在材料科学研究中的应用

摘要

电子背散射衍射技术的发展 ,可使一般扫描电镜或电子探针在安装这一衍射附件后 ,对块状样品作亚微米级的结晶学分析。以电子束进行逐点扫描可得到一种全新的图象——晶体取向分布图 ,从而使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来 ,开辟了微观织构这一全新的科学领域。扼要介绍电子背散射衍射原理、装置构造。