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射频磁控溅射法制备薄膜电池电极的计算机模拟初步

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计算机模拟仿真射频磁控溅射实验制备薄膜及离于电池电极,研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程,并分析了影响薄膜生长的部分因素.

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来源
《大学物理实验》|2006年第3期|70-75|共6页
作者
吕敬;
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作者单位

北京理工大学,北京,100000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电子计算机在物理学中的应用;
关键词
计算机模拟; 射频磁控溅射; 薄膜及离于电池;

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