公开/公告号CN107615557A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580079884.7
申请日2015-05-15
分类号H01M10/0585(20060101);H01M10/04(20060101);H01M4/139(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 04:20:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01M10/0585 申请公布日:20180119 申请日:20150515
发明专利申请公布后的视为撤回
2018-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01M10/0585 申请日:20150515
实质审查的生效
2018-01-19
公开
公开
机译: 薄膜电池制造中的锂沉积工艺中使用的掩膜装置,配置用于锂沉积工艺的设备,薄膜电池的电极的制造方法以及薄膜电池
机译: 在薄膜电池制造中用于锂沉积工艺中的掩模装置,用于锂沉积工艺的装置,用于制造薄膜电池电极的方法,
机译: 在薄膜电池制造中用于锂沉积工艺中的掩模装置,用于锂沉积工艺的装置,用于制造薄膜电池电极的方法,