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射频磁控溅射法制备薄膜电池电极及计算机模拟研究

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摘要

本文介绍了薄膜锂离子电池电极的射频磁控溅射制备方法,研究了在特定实验条件下薄膜的生长过程及计算机模拟方法.

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来源
《信息技术与信息化》 |2006年第2期|93-95|共3页
作者
吕敬; 廖波; 陈宜升; 段恋华;
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作者单位

北京理工大学信息科学技术学院电子系微电子实验室;

100081;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算技术、计算机技术;
关键词
计算机模拟; 射频磁控溅射; 薄膜电池;

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