不同方法测量铜薄膜厚度的比较

摘要

利用磁致溅射方法在玻璃基片上沉积不同厚度的铜膜.利用台阶仪、反射光谱法、四探针电阻法分别测量铜薄膜的形状膜厚、光学膜厚、电阻膜厚.总结了三种方法的测量精度、测量范围和局限性.