铜氧化膜厚度测量仪及测量方法

摘要

铜氧化膜厚度测量仪，包括信号控制模块，信号控制模块包括恒定电流输出模块、电压采样模块、处理模块和通信模块，恒定电流输出模块、电压采样模块、通信模块均连接处理模块，恒定电流输出模块连接电解槽的阳极接口、阴极接口，阴极接口、阳极接口均连接电压采样模块，在阳极接口上设置电位传感器。本发明还提供测量方法，通过测量电压值、通电时间，绘制出电压——时间曲线，获取曲线的拐点后可计算出氧化膜厚度。本发明通过信号控制模块实现供应恒定直流电、测量试样电压以及放大、转换信息，无需外设其他设备，整体结构简单；通过测量电位，绘制电压——时间曲线，根据曲线的拐点得到氧化亚铜及氧化铜的反应时间，无需在电解槽中设置参考电极。