相关共路干涉技术测量表面轮廓的研究

摘要

提出一种集共路干涉与相关处理为一体的非接触表面轮廓仪。这种新的结构体系克服了同类仪器中环境干扰、导轨误差及光源噪声影响，适合于高精度表面轮廓测试。仪器测量精度优于４ｎｍ。