一种高分辨力、大行程微驱动压电马达

摘要

样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁.微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪.样机平均位移分辨力为5～15nm,驱动力60N,行程15mm.分析表明,对性能的主要影响因素是驱动脉冲参数及丝杠的爬行现象,这为LSPM的进一步优化提供了依据.