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机译:具有大垂直行程的薄膜压电微致动力学的动态,经过多轴耦合和制造不对称
Univ Michigan Dept Mech Engn 2350 Hayward St Ann Arbor MI 48109 USA;
Univ Michigan Dept Mech Engn 2350 Hayward St Ann Arbor MI 48109 USA;
Univ Michigan Dept Mech Engn 2350 Hayward St Ann Arbor MI 48109 USA;
thin-film PZT; microactuator; dynamics; fabrication asymmetries; endomicroscopy;
机译:具有大垂直行程的薄膜压电微致动力学的动态,经过多轴耦合和制造不对称
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