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董蜀湘; 王树昕; 邱海波; 李龙土;
清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室;
微动台; 压电超声马达; 精密控制;
机译:快速直流驱动器和纳米级精密压电马达的共生-线性定位台的速度定位
机译:第一届超声波马达和执行器国际研讨会:超声波马达驱动高精度定位台,实现5nm的定位精度
机译:高刚度超精密无心磨床的设计。线性压电马达作为进给驱动
机译:利用非共振超声波马达开发超精密载物台控制系统
机译:基于新型线性压电马达的纳米级XY工作台的开发
机译:基于压电驱动双轴挠性铰链和三个电容传感器的高分辨率和可重复性的二维微/纳米弧度角发生器
机译:利用压电冲击驱动器和微滴施加机制开发超精密XY工作台
机译:开发用于高扭矩的双面压电旋转超声波马达
机译:医用牙科手机,具有电驱动器和用于旋转工具的工具凹口,并且旋转工具的电驱动器由超声波马达和超声波马达组成,所述超声波马达由压电振动元件组成
机译:超声波马达的驱动电路压电超声马达,具有控制单元,该控制单元适用于直流(DC)转换器和逆变器,以控制流经超声马达的测量电流量
机译:压电Z驱动器用于调整例如显微镜的显微镜工作台具有压电晶体形式的压电马达,并提供支撑,每个马达的支脚均可通过控制装置单独控制
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