飞秒激光三维微细加工技术

摘要

双光子吸收几率与光强度的平方成正比,因此,双光子吸收引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,通过控制焦点的扫描运动可实现高精度三维加工.基于该原理,提出了一种利用飞秒激光进行微细加工的技术.根据此技术,建立了飞秒激光三维微细加工系统,该系统包括光源系统、显微镜系统、实时监测系统和精密移动系统等.研究发现,该系统加工的直线线宽最小可达500nm;加工线宽与加工速度成反比;激光功率为2mW时,最大和最小临界加工速度分别为80μm/s和1μm/s;制备出线宽1μm,宽度5μm的"CHINA"复杂结构,以及杆间距、层间距均为5μm的三维木堆型光子晶体结构.实验证实,该技术是一种非常灵活的微细加工技术.