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朱京涛; 岳帅鹏; 涂昱淳; 张一志;
同济大学物理科学与工程系精密光学工程技术研究所,上海200092;
Co/Ti多层膜; 磁控溅射; 反应溅射; 同步辐射; 反射率;
机译:干燥空气对反应溅射沉积Co / Ti多层膜中界面平滑的影响
机译:反应溅射Ni / Ti多层膜和超镜中子反射率,电阻,应力和脆化之间的关系
机译:反应溅射Ni / Ti多层膜的反射率
机译:通过N反应溅射制备的周期性Co / C,Cr / C和CoCr / C软X射线多层膜
机译:磁性多层膜的超快动力学:极紫外和软X射线光谱区域中的磁光光谱和共振散射
机译:在一氧化氮气氛下通过低能量电子和软X射线在DNA膜中诱导链中断
机译:反应溅射制备的Ti-Al-Si-N纳米复合膜的性质
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜
机译:使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译:软X射线多层膜反射镜和软X射线反射光学系统
机译:多层膜反射器,其制造方法,软X射线曝光设备和软X射线光学系统
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