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氮气反应溅射制备CoCr/Ti极紫外多层膜人工晶体单色器及制作方法

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本发明涉及一种合金CoCr和金属Ti作为膜层材料的极紫外多层膜人工晶体单色器及其制作方法，在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层，再交替镀制CoCr、Ti膜层形成CoCr/Ti周期多层膜人工晶体，然后在周期多层膜人工晶体上镀制C或B

著录项

公开/公告号CN105698928B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-04-17

原文格式PDF
申请/专利权人苏州宏策光电科技有限公司;
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申请/专利号CN201610111137.3
发明设计人朱京涛;朱圣明;金长利;朱运平;
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申请日2016-02-29
分类号
代理机构北京华识知识产权代理有限公司;
代理人赵永强
地址 215400 江苏省苏州市太仓市浏河镇紫薇路1号
入库时间 2022-08-23 10:10:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-04-17

授权

授权
2016-07-20

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J3/26 申请日:20160229

实质审查的生效
2016-06-22

公开

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