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第一章 前言
1.1软X射线及其与物质相互作用
1.1.1折射率
1.1.2反射率
1.2软x射线光学多层膜反射率的计算
1.2.1理想软X射线光学多层膜反射率的计算
1.2.2非理想软X射线光学多层膜反射率的计算
1.3软X射线光学多层膜的特性及其改善
1.3.1软X射线光学多层膜的结构特性
1.3.2软X射线光学多层膜光学性能的改善
1.3.3软X射线光学多层膜结构稳定性的改善
1.4软X射线光学多层膜的制备方法
1.5本论文工作
第二章 Ti/Al软X射线光学多层膜的设计、制备与结构表征
2.1软X射线光学多层膜结构设计原则
2.2Ti/Al软X射线光学多层膜的结构设计
2.2.1材料的选择
2.2.2结构设计
2.3 Ti/Al软X射线光学多层膜的制备
2.3.1样品制备
2.3.2退火处理
2.4结构表征
2.4.1低角度X射线衍射(LAXD)
2.4.2高角度X射线衍射(HAXD)
2.4.3高分辨透射电镜(HRTEM)
2.4.4原子力显微镜(AFM)
第三章 Ti/Al软X射线光学多层膜的结构及退火结构演变
3.1溅射气压对Ti/Al多层膜结构和热稳定性的影响
3.1.1Ti/Al多层膜的结构
3.1.2Ti/Al多层膜的表面形貌
3.1.3Ti/Al多层膜的低温热稳定性
3.2Ti/Al多层膜的结构和热稳定性
3.2.1制备态Ti/Al多层膜
3.2.2退火Ti/Al多层膜
3.3热力学解释
3.4小结
第四章 Ti/SiO2/Al/SiO2软X射线光学多层膜的结构和热稳定性
4.1Ti/SiO2/Al/SiO2软X射线光学多层膜的结构设计
4.2Ti/SiO2/Al/SiO2软x射线光学多层膜的结构及退火结构演变
4.2.1Ti/SiO2/Al/SiO2多层膜的结构
4.2.2Ti/SiO2/Al/SiO2多层膜的结构演变
4.2.3Ti/SiO2/Al/SiO2多层膜的表面形貌
4.3小结
第五章 结论
参考文献
致谢