离子束辅助沉积MoSx膜的特性研究

摘要

从轰击离子种类，辅助沉积方式、不同衬底材料以及存放环境湿度等因素对离子束辅助沉积的ＭｏＳｘ膜作特性的影响作了研究。发现这些因素在膜的沉积或使用过程中对其品质和特性都产生不能忽视的影响。