离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析

富均; 杨传仁; 杨大本; 王培禄; 黄宁康

首页> 中文期刊> 《真空科学与技术学报》 >离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析

离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过IBAD技术制备了MoS2 +Ag(Cu)复合膜 ,并利用XPS和ESR考察了复合膜的氧化情况。发现在RH为 6 0 %的大气环境下 ,Cu的掺入加速了MoS2 的氧化 ,相反Ag的加入却使MoS2 的氧化受到抑制 ;XPS发现MoS2 +Cu复合膜中存在Mo6 + ,ESR却并没发现中间态Mo5+ ;而XPS没有检测到MoS2 +Ag膜中有Mo6 + ,ESR却发现Mo5+ 。这说明Mo5+

著录项

来源
《真空科学与技术学报》 |1999年第2期|85-88|共4页
作者
富均; 杨传仁; 杨大本; 王培禄; 黄宁康;
展开▼
作者单位

电子科技大学材料系;

四川大学原子核科学技术研究所;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
抗湿性能; 离子束辅助沉积; 复合膜; 二硫化钼; 氧化;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 利用离子束辅助沉积的MoS2—Ta复合膜的特性研究 [J] . 王培录 ,廖小东 . 四川大学学报：自然科学版 . 1998,第003期
2. 离子束辅助沉积MoS_2-Ag复合膜氧化行为的研究 [J] . 王培录 ,刘仲阳 ,廖小东 . 四川大学学报：自然科学版 . 1999,第6期
3. 离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析 [J] . 潘永强 ,施洋 . 西安工业大学学报 . 2009,第004期
4. 离子束溅射沉积Al2O3纳米薄膜AFM及XPS分析 [J] . 王铁宝 ,王晓东 ,刘强安 . 河北工业大学学报 . 2011,第002期
5. 离子束溅射沉积Co纳米薄膜表面特征AFM、XPS分析 [J] . 林晓娉 ,何丽静 ,李晓惠 . 真空科学与技术学报 . 2007,第6期
6. 低能离子束辅助沉积作用下氮化硅/氮化钛复相陶瓷多层膜的结构和特性 [C] . 王立铎 . '96中国材料研讨会 . 1997
7. 离子束辅助沉积Ti-Cu-N纳米复合膜 [A] . 冯丹 . 2015

离子束辅助沉积MoS_2复合膜的XPS和ESR特性分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅