不同衬底上离子束辅助沉积MoS＿x膜的研究

摘要

利用离子束辅助技术在黄铜与２０￣＃钢衬底上进行了沉积ＭｏＳ＿ｘ膜的研究，对该膜在常温大气环境中的摩擦磨损特性用针－盘磨损试验进行了评价；用ＸＲＤ和ＸＰＳ检验了磨损前后膜的生成相、组分及Ｍｏ元素价态的变化，发现不同衬底上的ＭｏＳ＿ｘ膜在磨损中出现显著不同的结晶学变化，并对这一现象作了讨论。