在衬底上沉积薄膜的方法、衬底和通过该方法制造的金刚石膜

摘要

一种在衬底(2)上沉积薄膜的方法，包括用激光束(12)烧蚀靶(16)，以产生沿传播方向离开靶的表面(17)延伸的蒸发物的烟柱(19)。激光束聚焦在靶表面(17)之前并在烟柱(19)中的有限距离(d)处，由此为烟柱(19)中的蒸发物赋予增加的能量。也可以高速旋转靶，以便赋予蒸发物预定的速度分量，该速度分量使以较低速移动的蒸发物偏离传播方向，并防止被沉积到衬底上。在金刚石膜的形成中该方法很有用，并且已经应用在微芯片制造、可视显示单元、太阳能转换、光学、光电技术、保护表面、医学应用以及切割和钻孔应用等领域。