不锈钢衬底上沉积纳米金刚石薄膜

摘要

采用热丝化学气相沉积方法，使用CH4-Ar-H2作为气源，在不锈钢衬底上沉积多晶硅-纳米金刚石多层薄膜，研究了多晶硅薄膜作为过渡层对膜基结合力的影响。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和Raman光谱分析了薄膜的表面形貌、微结构以及残余应力。结果表明多晶硅薄膜作为过渡层易于金刚石薄膜在不锈钢衬底上的成核和生长，有利于纳米金刚石薄膜的生长。通过Raman光谱金刚石特征峰1333cm-1的偏移可以得知薄膜内残余压应力较小约为1.31GPa，提高了不锈钢衬底与金刚石薄膜之间的结合力。