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离子束混合增强陶瓷基体上金属薄膜附着力的研究

     

摘要

研究了110keV N^+轰击Ti/Si3N4和Ag/Al2O3后界面间所发生的变化,结果表明,离子束混合技术在幅度提高了陶瓷基体上金属膜的附着力,在界面处发生了原子级混合,这为解释附着力的“增强效应”提供了科学依据;金属薄膜的沉积及后续的离子轰击明显地减少了陶瓷裂纹的形成。

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