陶瓷基体上金属薄膜屈服强度及硬化指数的纳米压入法测定

摘要

使用三维弹塑性大应变有限元计算软件ＡＢＡＱＵＳ，对金属薄膜与陶瓷基体组成的典型膜－基体系的纳米压入加载过程进行了模拟分析，提出了利用纳米压入仪测得的连续压入加载曲线确定陶瓷基体上金属薄膜屈服强度与硬化指数的一般方法。作为实例，该文测定了蒸发镀制在硅单晶上三种不同膜厚铝膜的屈服强度和硬化指数，并与拉伸分离法的结果进行了比较，实验结果表明，该文提出了研究方法完全可行。