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朱宇轩; 聂林; 许敏; 刘灏; 王华杰; 陈逸航; 王晨宇; 柯锐; 王占辉; 胡世林; 李兵利; 龚少博; 袁金榜; 严一帆; 龙婷; 余羿; 吴婷;
核工业西南物理研究院;
中国科技大学物理学院;
螺旋波射频等离子体; 电子能量分布函数; 电压扫描探针; 线性装置;
机译:螺旋等离子体中电子能量分布函数的时间分辨测量
机译:射频偏置功率对电感耦合氩等离子体中电子能量分布函数和等离子体均匀性的影响
机译:通过将能量限制在双射频驱动的大气压等离子体中来调整电子能量分布函数
机译:测量绝缘容器中射频等离子体中电子能量分布函数的新方法
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:出版者校正:双极场在气体放电等离子体中电子分布函数形成中的作用
机译:能量分辨光能测量法用于同时测量射频驱动等离子体中的原子氧密度和局部平均电子能量
机译:rf等离子体中的时间分辨光学发射和电子能量分布函数测量
机译:新等离子体源的定制电子能量分布函数:混合电子束和RF等离子体
机译:等离子体涂覆工艺包括选择要在涂覆室中施加到基板的偏置电压,以使等离子体中电子的能量分布函数的最大值位于工作气体的分解势以下
机译:诊断等离子体的电子能量分布函数的方法及其监测方法
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