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高克林;
不详;
PCVD; 类金刚石; 薄膜; 探针;
机译:脉冲等离子体化学气相沉积法从C_2H_2和H_2混合物制备类金刚石薄膜的结构和力学性能
机译:微波ECR等离子体CVD沉积类金刚石薄膜的光学和力学性能。
机译:低温PECVD沉积的类金刚石薄膜
机译:硅低温等离子体沉积中的表面机制。
机译:等离子体增强原子层沉积在低温下沉积的HfO2薄膜的结构光学和电学性质
机译:低温下类二氧化硅薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化低温下类石英薄膜的等离子体辅助化学气相沉积的优化
机译:ECR微波等离子体沉积类金刚石薄膜
机译:磁增强低温高密度等离子体化学气相沉积等离子体源,用于沉积金刚石和类金刚石薄膜
机译:磁性增强的低温高密度等离子体化学气相沉积等离子体源,用于沉积金刚石和类金刚石薄膜
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