机译:微波ECR等离子体CVD沉积类金刚石薄膜的光学和力学性能。
Diamond like carbon; chemical vapour deposition; mechanical properties; Raman spectroscopy;
机译:微波ECR等离子体CVD沉积类金刚石薄膜的光学和力学性能。
机译:微波ECR等离子体CVD沉积类金刚石薄膜的光学和力学性能。
机译:微波等离子体增强CVD和RF等离子体增强CVD法沉积类金刚石碳膜的磨损寿命评估
机译:ECR微波PECVD沉积C-BN薄膜的机械和光学性质
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:从He / H2 / CH4 / N2微波等离子体沉积超光滑纳米结构金刚石薄膜
机译:用微波ECR等离子体CVD沉积金刚石等碳膜的光学和力学性能