双面研磨抛光中工件表面'塌边现象'的研究

摘要

随着信息产业的迅速发展,对半导体器件、光学器件等的表面平整度提出了越来越高的要求.双面研磨/抛光技术是能使工件得到较高形状精度和表面精度的超精密加工主要方法.但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差.本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义.